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オールメタルガスフィルター ＵＣＳシリーズ ＊UCSシリーズは2008年11月に廃版になりました。
ピュアロンオールメタルガスフィルター「UCSシリーズ」は、コンパクトな構造、高い濾過精度、しかも放出ガス特性に極めて優れたULSI製造用高性能ガスフィルターです。
- 全ての材質にSUS316Lステンレススティールを採用
- アウトガスフリー
- 高濾過精度0.01μm
- 高耐熱性 460℃
- 10ℓ/minの小流量から80ℓ/minまでの幅広いモデルを用意
- 全数ベーキング、特殊洗浄処理済み
- 標準仕様：ベーキング、純水特殊洗浄、メタルキャップ付
| 濾過精度 | 0.01μm | |
|---|---|---|
| 推奨流量 | 10～80ℓ/min（各モデル別：流量特性曲線参照) | |
| 設計圧力 | 20.6MPa(2,987PSIG) at20℃ | 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。 |
| 常用圧力 | 1MPa(145PSIG)未満 | |
| 最大許容差圧 | 15MPa(2,175PSIG) at20℃ | |
| 最高使用温度 | 460℃ | |
| 外部漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 構成部材 | ハウジング:SUS316L（電解研磨処理）エレメント:SUS316L 内面粗度:Rmax0.7μm以下 | |
| 継手 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、その他 | |
| 形式 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UCS-CB-02VR | 15.5 | 25.0 | Hex.17 | 1/4 | φ27 | 65.0 |
| UCS-CB-02SW | 10.0 | 25.0 | Hex.17 | 1/4 | φ27 | 54.0 |
| UCS-SB-02VR | 19.5 | 53.0 | Hex.27 | 3/8 | φ30 | 84.0 |
| UCS-SB-02SW | 12.0 | 53.0 | Hex.27 | 3/8 | φ30 | 73.0 |
| UCS-MB-02VR | 15.5 | 96.0 | Hex.27 | 1/4 | φ30 | 127.0 |
| UCS-MB-02SW | 10.0 | 96.0 | Hex.27 | 1/4 | φ30 | 116.0 |
