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高濾過精度オールメタルガスフィルター ＵＣＳ－Ｍシリーズ
- 全ての材質にＳＵＳ３１６Lステンレススティールを採用
- 高清浄度：全製品出荷前に内部特殊洗浄を施し、高純度Ｎ２を通ガスしながら高温ベーキング処理を行っております。
- 高流量・高差圧下においても０.００３μm以上の粒子を高い効率で除去致します。
- 高耐熱性４６０℃
- １０ℓ/min程度の少流量から２５０ℓ/min程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。
- 低圧力損失:従来のメタルフィルターと比較して、圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。
| 濾過精度 | 0.003μm | |
|---|---|---|
| 推奨流量 | 10M…15ℓ/min、13M…60ℓ/min、19M…120ℓ/min、24M…250ℓ/min | |
| 設計圧力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。 |
| 常用圧力 | 1MPa(145PSIG)未満 | |
| 最大許容差圧 | 15MPa(2,175PSIG) at20℃ | |
| 最高使用温度 | 460℃（不活性ガス） | |
| 外部漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 構成部材 | ハウジング：SUS316L（電解研磨処理） エレメント：SUS316L 内面粗度：Rmax0.5μm以下 | |
| 標準仕様 | ベーキング、純水特殊洗浄（フィルター内部） | |
| 継手 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、その他 | |
| 形式 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UCS-10M(13M)-02VR | 15.5 | 53.0 | Hex.27 | 1/4 | φ30.0 | 84.0 |
| UCS-10M(13M)-02SW | 10.0 | 53.0 | Hex.27 | 1/4 | φ30.0 | 73.0 |
| UCS-19M-02VR | 19.5 | 96.0 | Hex.30 | 3/8 | φ32.5 | 127.0 |
| UCS-19M-02SW | 12.0 | 96.0 | Hex.30 | 3/8 | φ32.5 | 116.0 |
| UCS-24M-02VR | 15.5 | 98.0 | Hex.37 | 1/4 | φ41.0 | 129.0 |
| UCS-24M-02SW | 10.0 | 98.0 | Hex.37 | 1/4 | φ41.0 | 118.0 |
