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腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイ®C-22 ハウジング製セラミックガスフィルター ＵＣＨシリーズ
- 高耐蝕性
フィルター構成部材には、フィルターハウジングにハステロイ®C-22を、そしてフィルターエレメントには、セラミックスを使用しております。これら全ての部材は、HBr、HClなどのハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。 - 低脱ガス特性
フィルターに使用されておりますセラミック・エレメントは、ステンレス鋼SUS316L製エレメントに比べて水分の吸着量が著しく低い為、腐蝕性、反応性の高い特殊ガスに最適です。又、フィルターは、全品純水特殊洗浄、ベーキング後出荷しておりますので、脱ガス特性に極めて優れております。 - 高濾過精度：0.003μm
エレメントには、三層構造のセラミックを使用している為、濾過精度に極めて優れております。又、フィルターは全品出荷時に、CNCパーティクルカウンターにて0.003μmパーティクルのゼロカウント確認後出荷しております。
| 濾過精度 | 0.003μm | |
|---|---|---|
| 推奨流量 | 40～200ℓ/min（各モデル別：流量特性曲線参照) | |
| 設計圧力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び 使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。 |
| 常用圧力 | 1MPa(145PSIG)未満 | |
| 最大許容差圧 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
| 最高連続使用温度 | 120℃ | |
| ベーキング温度 | 200℃ | |
| 外部漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 構成部材 | ハウジング：ハステロイ®C-22 内面粗度：Rmax0.7μm以下 エレメント：アルミナセラミックス(Al2O3) シール：PTFE | |
| 継手 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" VCR®、Swagelok®、UPG®その他 | |
| 形式 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UCH-2-02VR | 15.5 | 84.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 130.0 |
| UCH-2-02SW | 10.0 | 84.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 119.0 |
| UCH-2-03VR | 15.5 | 92.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 146.0 |
| UCH-2-03SW | 10.0 | 92.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 131.0 |
| UCH-3-02VR | 15.5 | 46.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 84.0 |
| UCH-3-02SW | 10.0 | 46.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 73.0 |
| UCH-3-03VR | 15.5 | 48.4 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 112.0 |
| UCH-4-02VR | 10.0 | 229.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 274.0 |
| UCH-4-03VR | 15.5 | 230.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 284.0 |
