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低圧力損失インラインセラミックガスフィルター ＵＣＦシリーズ
- 低圧力損失
窒素ガス10 ℓ/minをフィルターIN側圧力0.1MPaで流した時のOUT側圧力損失⊿Pは、0.01MPaと極めて低い圧力を実現しました。 - 高濾過精度
0.01μｍパーティクル除粒子性能99.9999999999％。サブミクロンULSI製造での歩留まりの大幅な向上に貢献します。
| 濾過精度 | 0.01μm | |
|---|---|---|
| 推奨流量 | 10～160ℓ/min（各モデル別：流量特性曲線参照) | |
| 設計圧力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び 使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。 |
| 常用圧力 | 1MPa(145PSIG)未満 | |
| 最大許容差圧 | 3MPa (435PSIG) at20℃ | |
| 最高連続使用温度 | 120℃ | |
| ベーキング温度 | 200℃ | |
| 外部漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 構成部材 | ハウジング：SUS316L 内面粗度：Rmax×0.7μm以下 エレメント：アルミナセラミックス(Al2O3) シール：PTFE | |
| 継手 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、その他 | |
| 形式 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UCF-CB-02VR・P | 15.5 | 40.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 71.0 |
| UCF-CB-02SW・P | 10.0 | 40.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 60.0 |
| UCF-SB-02VR・P | 15.5 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 84.0 |
| UCF-SB-02SW・P | 10.0 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 73.0 |
| UCF-LB-02VR・P | 15.5 | 96.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 127.0 |
| UCF-LB-02SW・P | 10.0 | 96.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 116.0 |
| UCF-SC-02VR・P | 15.5 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 84.0 |
| UCF-SC-02SW・P | 10.0 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 73.0 |
| UCF-LC-02VR・P | 15.5 | 96.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 127.0 |
| UCF-LC-02SW・P | 10.0 | 96.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 116.0 |
