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低圧力損失メタルガスフィルター　ＵＣＤシリーズ

• フィルター構成部材全てにSUS316Lを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく、高耐熱性を発揮。
• 窒素ガス（N2）をフィルターIN側圧力 0.2MPaで流したときのOUT側圧力損失は△ 0.05MPaで 90SLMの流量を実現。
• 定常流・脈動下において濾過精度 0.003μm をCNCで確認、サブミクロンULSI製造で歩留りの大幅な向上実現。