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微少流量超小型セラミックガスフィルター　ＳＰＣシリーズ

• 超小型・軽量
  SPCシリーズは超小型(Φ21×84mm）、軽量(90g）に設計されております。そのため、取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。
• 高濾過精度
  フィルターエレメントには多層構造のセラミックを使用しているため、高濾過精度です。また、全品出荷時にCNCカウンターにて0.003μmパーティクルのゼロカウント確認後、出荷しております。
• 低脱ガス特性
  プロセスガスの微少流量化、低ガス圧化により、フィルター内壁からの水分を中心とする脱ガスによる汚染が顕在化してまいります。セラミックフィルターはオールメタルフィルターに比べて水分吸着量が著しく少なく、水分などの脱ガス特性に優れております。
• デッドスペースフリー
  フィルター内部のガス滞留部をできる限り抑えた構造のため、ガス置換性に優れております。