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ハイブリッドフィルター PGHシリーズ

• ハイブリッドフィルターとは
  ハイブリッドフィルターとは、ガスケット型ガスフィルターを精密濾過精度のガスフィルターの入口/出口の継手部に装着することでハイブリッドとし、0.3μm以上又は1μm以上の配管中の大きなパーティクルを粗取りすることで、精密濾過精度ガスフィルターやマスフローコントローラーの目詰まり防止に加え、メタルシールバルブ等のシール不良による出流れ防止に効果を発揮します。
  　※配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。
  　※既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。
  
  　・フィルターメディアは、ＳＵＳ３１６Ｌ製です。
  　・ガスケットの材質は、ＳＵＳ３１６Ｌ又はニッケルです。
  　・配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ますので、
  　　既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。