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低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルター　ＰＧＦＬシリーズ

• 高濾過精度・低圧力損失
  当社従来品のＰＧＦシリーズの高濾過性能をそのままに、低圧力損失を実現致しました。従来のＰＧＦシリーズとまったく同じ外形寸法で約２倍の流量を処理できます。
• エッチングや薄膜形成時に不可欠な高選択性
  高選択性の追及にとって、極めて重要なポイントになるのが、水や酸素といった不純物の除去の問題です。この不純物の除去を確実に行うためには、何よりも高温状態でのベーキングが不可欠です。そうした観点から開発されたセラミックフィルタでは、200℃の高温ベーキングが行えます。
• メンテナンス･フリーによるコストダウン
  パーティクル粒径の大きさにより段階的に濾過できる三層構造のため目詰まりが殆どなく、また耐久性/耐熱性に優れた特徴を持つセラミックフィルタは、従来のフィルタに比べ、使用時のトラブルもありません。従って、生産ラインの一時停止による経済的損失もなく、長期間に渡ってコストの低減化が図れます。