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インラインセラミックガスフィルター ＰＧＦシリーズ
- 高濾過精度
サブミクロンＬＳＩ製造プロセスにおいては、原料ガスを高純度のままユースポイントまで供給することが不可欠です。そのためには、原料ガスの高純度化はもとより、配管系のウルトラクリーン化が大きなポイントでした。ピュアロンジャパンでは、こうした時代の要求にお応えするために、エレメント部にセラミックを使用した、まったく新しいフィルタを開発。その結果、常に安定した状態で0.003μｍという高濾過精度を可能にしました。 - エッチングや薄膜形成時に不可欠な高選択性
高選択性の追及にとって、極めて重要なポイントになるのが、水や酸素といった不純物の除去の問題です。この不純物の除去を確実に行うためには、何よりも高温状態でのベーキングが不可欠です。そうした観点から開発されたセラミックフィルタでは、200℃の高温ベーキングが行えます。 - メンテナンス･フリーによるコストダウン
パーティクル粒径の大きさにより段階的に濾過できる三層構造のため目詰まりが殆どなく、また耐久性/耐熱性に優れた特徴を持つセラミックフィルタは、従来のフィルタに比べ、使用時のトラブルもありません。従って、生産ラインの一時停止による経済的損失もなく、長期間に渡ってコストの低減化が図れます。
| 濾過精度 | 0.003μm（但し、純水濾過時は0.1μm） | |
|---|---|---|
| 推奨流量 | 10～200ℓ/min（各モデル別：流量特性曲線参照) | |
| 設計圧力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び 使用は1MPa未満となります。1MPa以上の高圧ガス認定品につきましては、別途お問い合わせ下さい。 |
| 常用圧力 | 1MPa(145PSIG)未満 | |
| 最大許容差圧 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
| 最高連続使用温度 | 120℃ | |
| ベーキング温度 | 200℃ | |
| 外部漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 構成部材 | ハウジング：SUS316L 内面粗度：Rmax0.7μm以下 エレメント：アルミナセラミックス(Al2O3) シール：PTFE | |
| 継手 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" VCR®、Swagelok®、UPG®、その他 | |
| 形式 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PGF-2-02VR・PC07 | 15.5 | 84.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 130.0 |
| PGF-2-02SW・PC07 | 10.0 | 84.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 119.0 |
| PGF-2-03VR・PC07 | 19.5 | 92.0 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 146.0 |
| PGF-2-03SW・PC07 | 12.0 | 92.0 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 131.0 |
| PGF-3-02VR・PC07 | 15.5 | 46.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 84.0 |
| PGF-3-02SW・PC07 | 10.0 | 46.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 73.0 |
| PGF-3-03VR・PC07 | 19.0 | 48.4 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 112.0 |
| PGF-4-02VR・PC07 | 15.5 | 229.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 274.0 |
| PGF-4-03VR・PC07 | 19.0 | 229.0 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 284.0 |
| PGF-5-02VR・PC07 | 15.5 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 84.0 |
| PGF-5-02SW・PC07 | 10.0 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 73.0 |
- フィルターベーキング：２００℃、２Hr
- メタルキャップ
- 超大流量500～3,000ℓ/minは別にPGF-11タイプがございます。
