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大流量セラミックガスフィルター　ＰＧＦ-11シリーズ

• 超大流量
  流量500ℓ/minから3,000ℓ/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。
• 高濾過精度
  0.003μmの高濾過精度で、しかも脈動に強いセラミックエレメントを使用していますので、目詰まりも少なく定期的なメンテナンスがほとんど必要ありません。
• 高性能
  専用の２００℃ベーキングヒーター（オプション）で、水分・酸素などの脱ガス成分をppb以下に抑えられます。