ピュアロンの発想-それは流れる力

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイⓇ圧力センサー　ＰＣ－６０１シリーズ

半導体デバイスの製造プロセスにおきましては、HBr、HCl等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスが多く使用されております。これらの腐蝕性ガスは、ガス供給配管系に使用される圧力センサー・ガスフィルター等に使用されておりますステンレス鋼材の内表面に吸着したわずかな水分とも反応し、腐蝕生成物を形成します。この生成物は、パーティクルを発生させ、半導体プロセス汚染の原因となっております。ピュアロンでは、このような腐蝕性特殊ガスに対し、ステンレス鋼材ＳＵＳ３１６Ｌをはるかにしのぐ耐蝕性を有するハステロイ®を使用した腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズを開発致しました。

  • 高耐蝕性
    接ガス部には、ＨＢｒ、ＨＣｌ等のハロゲン系反応性、腐蝕性特殊ガスに対し、従来のステンレス鋼材ＳＵＳ３１６Ｌをはるかにしのぐ耐蝕性を有する鋼材ハステロイ®を使用し、さらに電解研磨処理をしておりますので、耐蝕性特殊ガスに優れた力を発揮致します。
  • 高精度・高信頼性
    リニアリティ・ヒステリシス・リピータビリティの影響によるベスト・フィット直線から最大偏差は０.２５％と高精度で高い信頼性があります。
  • 広い測定範囲
    ゲージ圧 ０～１７２.４ＫＰａ(１.７５ｋｇｆ/ｃｍ２)から２０,６８４ＫＰａ(２１０.９ｋｇｆ/ｃｍ２)まで、絶対圧 ０～２,５８６ｔｏｒｒ迄の幅広い圧力レンジを用意しております。
  • 長い製品寿命
    各レンジにおける耐久テストで１００万回以上達成済みです。
形式 ゲージ圧※絶対圧
PSI ２５G ５０G １００G ２００Ｇ ５００Ｇ ３０００Ｇ １５Ａ ２５Ａ ５０Ａ
圧力レンジ KPa 0～172.4 0～344.7 0～689.5 0～1,378.9 0～3,447.3 0～20,684 0～103.4 0～172.4 0～344.7
kgf/cm2 0～1.76 0～3.52 0～7.03 0～14.06 0～35.16 0～210.9 - - -
torr --- - - - 0～776 0～1,293 0～2,586
精度（％ Ｆull Ｓcale) ±0.5％ ±0.25％ ±0.5％

※ゲージ圧タイプは全て連成対応可能です。

過負荷圧力Full Scale×2
励起（電源）電圧DC 5V(MAX 6V)
保存温度範囲 -20℃～93℃（未通電）
補償温度範囲－1℃～71℃
温度ドリフト±0.05%　FS/℃
信号出力100mV(20mV/V) ※25Ｇ ・50Ｇは、50mV(10mV/V)
スパン100mV±15mV ※25G ・50Gは、50mV ± 15mV
オフセット0mV ± 10mV
外部リーク量2×10-11Pa・m3/sec
接ガス（液）部ハステロイ®
継手 1/4"　VCR®、Swagelok®、その他

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