
集積化ガスシステム対応ガスフィルター FI/SIシリーズ

- 高濾過精度
高濾過精度で定評のあるセラミックスエレメントタイプ(0.003μm)と、メタルエレメントタイプ(0.003μm)を取り揃えております。
- 幅広いバリエーション
Cシール/H1Gシール/Wシールに対応しております。(Cシール/Wシールは1.125インチタイプも対応)
- 広い流量範囲
数LPMの小流量から120LPMまでの大流量タイプをラインナップしております。
| シール仕様 | 推奨流量 |
エレメント材質 |
濾過精度 |
1.5"対応品型式 |
1.125"対応品型式 |
| Cシール | 10SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIE-MB10C |
SIE-MB10C |
| 40SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIE-SB19C |
SIE-SB19C |
| 80SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIE-LB19C |
SIE-LB19C |
| 10SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIE-CB13M |
SIE-CB13M |
| 40SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIE-SB13M |
SIE-SB13M |
| 80SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIE-LB13M |
SIE-LB13M |
| 120SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIE-TB19M |
SIE-TB19M |
| H1Gシール | 10SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIH-MB10C |
- |
| 40SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIH-SB19C |
- |
| 80SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIH-LB19C |
- |
| 10SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIH-CB13M |
- |
| 40SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIH-SB13M |
- |
| 80SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIH-LB13M |
- |
| 120SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIH-TB19M |
- |
| Wシール | 10SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIF-MB10C |
SIF-MB10C |
| 40SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIF-SB19C |
SIF-SB19C |
| 80SLPM以下 |
アルミナセラミックス |
0.003μm |
FIF-LB19C |
SIF-LB19C |
| 10SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIF-CB13M |
SIF-CB13M |
| 40SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIF-SB13M |
SIF-SB13M |
| 80SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIF-LB13M |
SIF-LB13M |
| 120SLPM以下 |
SUS316L |
0.003μm |
FIF-TB19M |
SIF-TB19M |
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