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ガスフィルター用ジャケットフィルター　ＦＢＲシリーズ

ガスフィルターベーキング用ジャケットヒーターＦＢＲシリーズは、２００℃の高温でフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。

• FBRシリーズはフィルターから簡単に脱着可能です。
• ２００℃のベーキングが可能です。
• コントローラーユニットには過熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。
• 温度、時間などの設定は遠隔操作できるデジタル式コントローラーにより操作が簡単です。
• ヒーターユニットは薄型、軽量でスペースを取りません。

一旦フィルター内部の金属表面やエレメントに大気中の水分を吸着させてしまうとN2パージだけでは殆ど取り除くことはできません。また、雰囲気ガス中にH2OやO2が存在すれば、室温での水分との反応によりフィルター内、およびプロセスチャンバー内の反応生成物による汚染や腐蝕などが生じます。そこで水分・その他の脱ガス成分を脱着させるには２００℃以上でのベーキングが一番効果的です。ピュアロンでは、フィルターを２００℃でベーキングする画期的なベーキングシステムを開発致しました。これによりAPIMS測定で脱ガス量(水分量)1.2ppbを達成致しました。