PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

모든 메탈 가스 필터 UCS 시리즈  *UCS 시리즈는 2008년11월부터 판매하지 않습니다.

Pureron의 모든 메탈 가스 필터 「UCS 시리즈」는、컴팩트한 구조、높은 여과 정밀도、더욱이 방출 가스의 특징으로 더없이 우수한 ULS 제조용 고성능 가스 필터입니다。

  • 모든 재질은 SUS316L 스테인레스 스틸
  • Out Gas Free
  • 고여과정도0.01μm
  • 고내연성 460℃
  • 10ℓ/min의 소유량부터 80ℓ/min까지의 다양한 모델 구비
  • 전수 베이킹、특수 세정 처리 마무리
  • 표준사양:베이킹、순수 특수 세정、메탈캡
여과 정밀도 0.01μm
권장유량10~80ℓ/min(각 모델별:유량 특성 곡선 참조)
설계압력20.6MPa(2,987PSIG) at20℃ 본 제품은、전품14.7MPa의 내압시험후 출하를 합니다。다만、일본 국내에있는 고압가스안정법을 준수하며、최고사용 압력의 표기및 사용은 1MPa미만입니다。1MPa이상의 고압 가스 인정품에 대해서는、별도로 문의를 부탁 드립니다。
상용압력1MPa(145PSIG)미만
최대 허용 차압15MPa(2,175PSIG) at20℃
최고사용온도460℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:SUS316L(전해 연마 처리)요소:SUS316L 내면조도:Rmax0.7μm이하
피팅1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、그외

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형식A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCS-CB-02VR15.5 25.0 Hex.171/4 φ27 65.0
UCS-CB-02SW10.025.0Hex.171/4φ27 54.0
UCS-SB-02VR 19.5 53.0 Hex.27 3/8 φ30 84.0
UCS-SB-02SW 12.0 53.0 Hex.273/8 φ30 73.0
UCS-MB-02VR15.5 96.0 Hex.271/4φ30 127.0
UCS-MB-02SW 10.0 96.0 Hex.271/4φ30 116.0

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