PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

부식성 특수가스 대책용 하스테로이 ® C-22 하우징제 세라믹 가스 필터ーUCH 시리즈

  • 높은내식성
    필터의 구성부 재질은、필터 하우징에 하스틸로이 ® C-22를、필터 요소에는、세라믹을 사용했습니다。이들 전부의 소재는、HBr、HCl등의 할로겐계 반응성 부식성 가스에 대해、내식성이 상당히 높아 더없이 우수한 성능을 발휘합니ガスニタイ다。
  • 낮은 탈가스의 특징
    필터에 사용하는 세라믹・요소는、스테인레스강 SUS316L재질 요소에 비해 수분의 흡착량이 적어、부식성、반응성에 높은 특수 가스에 최적입니다。또한、필터는、전품 순수 특수 세정、베이킹후 출하를 하기 때문에、탈가스 특징이 매우 우수합니다。
  • 고여과정도:0.003μm
    요소에는、삼층구조의 세라믹을 사용하기 때문에、여과 정밀도가 매우 우수합니다。또한、필터는 전품 출하시、CNC파티클 카운터로0.003μm 제로 파티클을 확인후 출하합니다。
여과 정밀도 0.003μm
권장유량40~200ℓ/min(각 모델별:유량특징곡선참조)
설계압력17MPa (2,465PSIG) at20℃ 본 제품은、전품14.7MPa의 내압시험후 출하를 합니다。다만、일본 국내에있는 고압가스안정법을 준수하며、최고사용 압력의 표기및 사용은 1MPa미만입니다。1MPa이상의 고압 가스 인정품에대해서는、별도로 문의를 부탁 드립니다。
상용압력1MPa(145PSIG)미만
최대 허용 차압9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
최고연속사용온도120℃
베이킹온도200℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:하스테로이®C-22 내면조도:Rmax0.7μm이하 요소:알루미나 세라믹(Al2O3) Seal:PTFE
피팅1/4"、3/8"、1/2"、3/4"  Gasket seal、 Compression seal、UPG®그외

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형식A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCH-2-02VR15.5 84.0 Hex.24 1/4 φ42.4 130.0
UCH-2-02SW 10.0 84.0 Hex.24 1/4φ42.4 119.0
UCH-2-03VR15.5 92.0 Hex.24 1/4φ42.4 146.0
UCH-2-03SW10.0 92.0 Hex.24 1/4φ42.4 131.0
UCH-3-02VR15.5 46.0 Hex.24 1/4φ42.4 84.0
UCH-3-02SW10.0 46.0 Hex.24 1/4φ42.4 73.0
UCH-3-03VR15.5 48.4 Hex.24 1/4φ42.4 112.0
UCH-4-02VR10.0 229.0 Hex.24 1/4φ42.4 274.0
UCH-4-03VR15.5 230.0 Hex.24 1/4φ42.4 284.0

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