PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

저압력 손실 메탈 가스 필터 UCD 시리즈

  • 필터 구성부 재질은 모두 SUS316L을 사용하여、부식 또는 이차생성물의 오염이 없고、고내열성을 발휘。
  • 질소가스(N2)를 필터 안쪽에 압력 0.2MPa로 흘릴때의 바깥쪽 압력 손실은△ 0.05MPa로 90SLM의 유량을 실현。
  • 정상 흐름 박동하에서 여과 정밀도 0.003μm를 CNC로 확인、서브 마이크론ULSI제조에 대폭적인 향상을 실현했습니다
여과 정밀도0.003μm
권장유량 10~100ℓ/min(각 모델별:유량 특성 곡선 참조)
최고사용압력0.98MPa(142PSIG) at20℃
최대 허용 차압0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
최고사용온도460℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:SUS316L(전해 연마 처리)요소:SUS316L 내면조도:Rmax0.7μm이하
피팅1/4"Gasket seal、그외

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