PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

미소 유량 초소형 세라믹 가스 필터 ーSPC

  • 초소형・경량
    SPC 시리즈는 초소형(Φ21×84mm)、경량(90g)으로 설계되었습니다。그렇기 때문에、설치 장소가 협소한 실린더 캐비넷등의 장치에 최적입니다。
  • 고여과정도
    필터의 엘리멘트는 다층구조의 세라믹을 사용했기 때문에、여과정도가 높습니다。또한、모든 제품 출하시에 CNC 카운터에 0.003μm파티클의 제로 카운터를 확인 후에 출하합니다。
  • 저탈 가스의 특징
    진행 가스의 미소유량화、저가스압화에 따라、필터의 내벽에서 수분을 중심으로 하는 탈 가스에 의한 오염이 생깁니다。세라믹 필터는 모든 메탈 필터와 비교하여 수분 흡착량이 적고,수분등의 탈 가스의 특징에서 우수합니다。
  • 죽은 공간이 없음
    필터 내부의 가스 체류부를 최대한 억제한 구조 때문에、가스 치환성에서 우수합니다。
여과 정밀도 0.003μm
권장유량 10ℓ/min
설계압력17MPa (2,465PSIG) at20℃ 본 제품은、전품14.7MPa의 내압시험후 출하를 합니다。다만、일본 국내에있는 ホアンホウ고압가스안정법을 준수하며、최고사용 압력의 표기및 사용은 1MPa미만입니다。1MPa이상의 고압 가스 인정품에대해서는、별도로 문의를 부탁 드립니다。
상용압력1MPa(145PSIG)미만
최대 허용 차압 3MPa (435PSIG) at20℃
최고연속사용온도120℃
베이킹온도200℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:SUS316L(전해 연마 처리) 내면조도:Rmax0.7μm이하 요소:알루미나 세라믹(Al2O3) Seal:PTFE
피팅1/4"Gasket seal、 Compression seal、그외

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