PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

거친 취급용 모든 메탈 가스 필터 RGF 시리즈

  • 다양한 여과 정밀도
    정상 흐름 박동 아래의 여과 정밀도 0.1~10μm까지의 다양한 여과 정밀도 대응。
  • 높은내식성
    필터 구성부 재질로 부식성 재질은 사용치 않아 부식 또는 이차생성물의 오염이 없습니다。
  • 탈가스특징
    전용 베이킹 히터를 같이 사용하므로서 APIMS 측정으로 탈가스(수분량)1.2ppb를 달성했습니다。지속적으로 사용하면 0.1ppb 레벨까지 가능합니다。또한、필터내의 불순물 잔류검사를 특수 세정으로 제거하여 탈가스 특징이 더욱더 향상되었습니다。
여과 정밀도0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 각종
권장유량면간치수 E 사이즈…40ℓ/min、T 사이즈…60ℓ/min
설계압력17MPa (2,465PSIG) at20℃ 본 제품은、전품14.7MPa의 내압시험후 출하를 합니다。다만、일본 국내에있는 고압가스안정법을 준수하며、최고사용 압력의 표기및 사용은 1MPa미만입니다。1MPa이상의 고압 가스 인정품에대해서는、별도로 문의를 부탁 드립니다。
상용압력1MPa(145PSIG)미만
최대 허용 차압2MPa(290PSIG) at20℃
최고사용온도400℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:SUS316L(전해 연마 처리) 요소:SUS316L 내면조도:Rmax0.7μm이하
피팅1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、그외

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형식A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
RGF-EB-02VR15.5 34.0 Hex.30 1/4 φ32.5 65.0
RGF-EB-02SW10.0 35.0 Hex.30 1/4φ32.5 55.0
RGF-TB-02VR 19.5 53.0 Hex.30 1/4 φ32.5 84.0
RGF-TB-02SW 12.0 53.0 Hex.30 1/4 φ32.5 730

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