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하이브리드 필터 PGH시리즈

• 하이브리드 필터란
  하이브리드 필터란、가스켓 모양의 가스 필터를 정밀 여과의 가스 필터 입구/출구의 피팅부에 장착하여 0.3μm이상 또는 0.1μm이상의 배관중 큰 파티클을 잡아내는 것으로、정밀 여과 정도 가스 필터와 메스 플로우 컨트롤러의 눈 막힘을 방지하고、메탈 실리브등의 불량에 따른 출류를 방지하는 효과를 발휘합니다。
  　※배관 면 씰 피팅부의 가스켓 형태로 장착이 가능합니다。
  　※기존의 배관에도 개조없이 장착할수 있습니다。
  
  　・필터 메디아는、ＳＵＳ３１６Ｌ제 입니다。
  　・가스켓의 재질은、ＳＵＳ３１６Ｌ 또는 니켈입니다。
  　・배관면의 씰 피팅의 가스켓 형태로 장착할수 있어、기존의 배관도
  　　개조없이 장착이 가능합니다。