PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

낮은 압력 손실・높은 여과 정밀도 세라믹 가스 필터 PGFL 시리즈

  • 고여과정도・낮은압력손실
    당사의 종래품인 PGF 시리즈의 높은 여과 성능을 그대로 가지고 있으며、저압력 손실을 실현했습니다。기존의 PGF 시리즈와 같은 외형 치수로 약 2배의 유량을 처리할수 있습니다。
  • 엣칭및 박막 형성시에 필수적인 높은 선택성
    높은 선택성을 추구하기 위해서、매우 중요한 포인트가 되는 것이、물과 산소등의 불순물을 제거하는 문제입니다。이런 불순물을 확실하게 제거하기 위해서는、무엇보다도 고온상태의 베이킹이 필수입니다。그러한 관점에서 개발한 세라믹 필터는、200℃의 고온 베이킹이 가능합니다.
  • 유지 비용 절감
    파티클의 입자가 큰 것 부터 단계적으로 여과가 가능케하는 삼층 구조이기때문에 눈막힘의 위험이 없고、또한 내구성/내열성이 우수한 특징을 가진 세라믹 필터는、기존의 필터와 비교하면、사용시의 트러블이 없어、생산라인의 일시정시에 의한 경제적인 손실없으며、장기간이 사용하면 가격 절감의 효과를 볼수 있습니다。
여과 정밀도 0.003μm(단、순수 여과시는 0.1μm)
권장유량20~400ℓ/min(각 모델별 : 유량특성곡선참조)
설계압력17MPa (2,465PSIG) at20℃ 본 제품은、전품14.7MPa의 내압시험후 출하를 합니다。다만、일본 국내에있는 고압가스안정법을 준수하며、최고사용 압력의 표기및 사용은 1MPa미만입니다。1MPa이상의 고압 가스 인정품에 대해서는、별도로 문의를 부탁 드립니다。
상용압력1MPa(145PSIG)미만
최대 허용 차압9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
최고연속사용온도120℃
베이킹온도200℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:SUS316L 내면조도:Rmax0.7μm이하 요소:알루미나 세라믹(Al2O3) Seal:PTFE
피팅1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、그외

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형식A(mm)B(mm)C(mm)D(mm)E(mm)F(mm)
PGFL-2-02VR・PC0715.584.0Hex.241/4φ42.4130.0
PGFL-2-02SW・PC07 10.084.0Hex.241/4φ42.4 119.0
PGFL-2-03VR・PC07 19.0 92.0Hex.24 3/8φ42.4 146.0
PGFL-2-03SW・PC07 12.092.0Hex.243/8φ42.4 131.0
PGFL-3-02VR・PC0715.5 46.0Hex.241/4φ42.4 84.0
PGFL-3-02SW・PC07 10.0 46.0Hex.241/4φ42.4 73.0
PGFL-3-03VR・PC07 19.0 48.4Hex.243/8φ42.4 112.0
PGFL-4-02VR・PC0715.5 229.0Hex.241/4φ42.4 274.0
PGFL-4-03VR・PC0719.0 230.0Hex.243/8φ42.4 284.0

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  • 필터베이킹:200℃、2Hr
  • 메탈캡
  • 초대형 유량 500~3,000ℓ/min은 별도의 PGF-11타입이 있습니다。

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