PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

인라인 세라믹 필터 PGF 시리즈

  • 고여과정도
    서브 미크론 LSI제조 공정에서는、원료 가스를 고순도 상태에서 사용 지점까지 공급하는것이 필수적입니다。그래서、원료 가스의 고순도화는 물론이고、배관계의 최상의 크린이 매우 중요한 포인트カ였습니다。PURERON JAPAN은、지금 시대의 요구에 부응하기 위해 、요소에 세라믹을 사용하여、전혀 다른 새로운 필터를 개발。그 결과、매우 안정적인 상태로 0.003μm이라는 높은 여과 정밀도를 가능하게 했습니다。
  • 엣칭및 박막 형성시에 필수적인 높은 선텍성
    높은 선택성을 추구하기 위해서、매우 중요한 포인트가 되는 것이、물과 산소등의 불순물을 제거하는 문제입니다。이런 불순물을 확실하게 제거 하기 위해서는、무엇보다도 고온상태의 베이킹이 필수입니다。그러한 관점에서 개발한 세라믹 필터는、200℃의 고온 베이킹이 가능합니다.
  • 유지 비용 절감
    파티클의 입자가 큰 것부터 단계적으로 여과가 가능케하는 삼층 구조이기때문에 눈막힘의 위험이 없고、또한 내구성/내열성이 우수한 특징을 가진 세라믹 필터는、기존의 필터와 비교하면、사용시의 트러블이 없어、생산라인의 일시정시에 의한 경제적인 손실이 없으며、장기간 사용하면 가격 절감의 효과를 볼수 있습니다。
여과 정밀도 0.003μm(단、순수 여과시는0.1μm)
권장유량10~200ℓ/min(각 모델별 : 유량유지곡선참조)
설계압력17MPa (2,465PSIG) at20℃ 17MPa (2,465PSIG) at20℃ 본 제품은、전품14.7MPa의 내압시험후 출하를 합니다。다만、일본 국내에있는 고압가스안정법을 준수하며、최고사용 압력의 표기및 사용은 1MPa미만입니다。1MPa이상의 고압 가스 인정품에대해서는、별도로 문의를 부탁 드립니다。
상용압력1MPa(145PSIG)미만
최대 허용 차압9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
최고연속사용온도120℃
베이킹온도200℃
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
구성부재질하우징:SUS316L 내면조도:Rmax0.7μm이하 요소:알루미나 세라믹(Al2O3) Seal:PTFE
피팅1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、그외

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형식A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
PGF-2-02VR・PC0715.584.0Hex.241/4φ42.4130.0
PGF-2-02SW・PC0710.084.0Hex.241/4φ42.4 119.0
PGF-2-03VR・PC07 19.5 92.0 Hex.24 3/8 φ42.4 146.0
PGF-2-03SW・PC07 12.0 92.0 Hex.243/8 φ42.4 131.0
PGF-3-02VR・PC0715.5 46.0 Hex.241/4φ42.4 84.0
PGF-3-02SW・PC07 10.0 46.0 Hex.241/4φ42.4 73.0
PGF-3-03VR・PC07 19.0 48.4 Hex.243/8 φ42.4 112.0
PGF-4-02VR・PC0715.5 229.0 Hex.241/4φ42.4 274.0
PGF-4-03VR・PC0719.0 229.0 Hex.243/8 φ42.4 284.0
PGF-5-02VR・PC0715.5 53.0 Hex.30 1/4 φ32.5 84.0
PGF-5-02SW・PC0710.0 53.0 Hex.30 1/4φ32.5 73.0

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  • 필터베이킹:200℃、2Hr
  • 메탈캡
  • 초대형 유량 500~3,000ℓ/min은 별도의 PGF-11타입이 있습니다。

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