PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

부식성 특수가스 대책용 하스트로이®압력센서 PC-601시리즈

반도체 장치의 제조 프로세서에는、HBr、HCl등의 할로겐계 반응성、부식성 특수 가스가 많이 사용되고 있습니다。이러한 부식성 가스는、가스 공급 배관계에 사용되는 스테인레스강 재질의 내표면에 흡착된 골칫거리 수분과 반응하여、부식성 물질을 형성합니コウザイ다。그 생성물은、파티클을 발생시키고、반도체 프로세서의 오염 원인이 됩니다。PURERON은、그러한 부식성 특수가스에 대해、스테인레스강 재질 SUS316L보다 부식성에 강한 하스텔로이®를 사ガスニタイ용하여 부식성 특수가스 대책용 압력센서 PC-601시리즈를 개발했습니다。

  • 높은내식성
    접가스부는、HBr、HCl등의 할로겐계 반응성、부식성 특수 가스에대해、종ガスニタイ래의 스테인레스강 재질 SUS316L보다 부식성이 훨씬 강한 하스텔로이®를 사용하였으며、더욱이 전해 연마 처리를 하여、부식성 특수 가스에 탁월한 힘을 발휘합니다。
  • 고정밀도이다・높은 신뢰도
    형성성, 자기 이력성, 반복성의 영향에 최고로 맞는 직선으로부터 최대 편차는0.25%의 높은 정밀도와 높은 신뢰도가 있습니다。
  • 넓은 측정 범위
    게이지압 0~172.4KPa(1.75kgf/cm2)부터 20,684KPa(210.9kgf/cm2)까지、절대압 0~2,586torr까지 다양한 압력 범위 제품을 준비했습니다。
  • 오랜 제품 수명
    각カク 범위에서 내구 테스트를 100만회 이상 실시하였습니다。
형식 게이지압※절대압
PSI 25G 50G 100G 200G 500G 3000G 15A 25A 50A
압력 범위 KPa 0~172.4 0~344.7 0~689.5 0~1,378.9 0~3,447.3 0~20,684 0~103.4 0~172.4 0~344.7
kgf/cm2 0~1.76 0~3.52 0~7.03 0~14.06 0~35.16 0~210.9 - - -
torr --- - - - 0~776 0~1,293 0~2,586
정밀도(% Full Scale) ±0.5% ±0.25% ±0.5%

※게이지압 타입은 전부 연성 대응 가능합니다.

과부하압력Full Scale×2
여기(전원)전압DC 5V(MAX 6V)
보호온도범위 -20℃~93℃(미통전)
보관온도범위-1℃~71℃
온도편차±0.05% FS/℃
신호출력100mV(20mV/V) ※25G ・50Gは、50mV(10mV/V)
스팬100mV±15mV ※25G ・50Gは、50mV ± 15mV
오프세트0mV ± 10mV
외부리크량2×10-11Pa・m3/sec
연결 가스(액)부하스테로이®
피팅 1/4" Gasket seal、 Compression seal、그외

▲처음 페이지로 돌아가다.