PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

H하스터로이®압력 트렌스미터 PC-600 시리즈

반도체 장치의 제조 프로세서에는、HBr、HCl등의 할로겐계 반응성、부식성 특수 가스가 많이 사용되고 있습니다。이러한 부식성 가스는、가스 공급 배관계에 사용되는 스테인레스강 재질의 내표면에 흡착된 골칫거리 수분과 반응하여、부식물을 형성합니다。그 생성물은、파티클을 발생시키고、반도체 프로세서의 오염 원인이 됩니다。PURERON은、그러한 부식성 특수가스에 대해、스테인레스강 재질 SUS316L보다 부식성에 강한 하스텔로이®를 사용하여 부식성 특수가스 대책용 압력센서 PC-600시리즈를 개발했습니다。

  • 높은내식성
    연결 가스부는、HBr、HCl등의 할로겐계 반응성、부식성 특수 가스에 대ガスニタイスグ해、종래의 스테인레스강 재질 SUS316L보다 부식성이 훨씬 강한 하스텔로이®를 사용하였으며、더욱이 전해 연마 처리를 하여、부식성 특수 가스에 탁월한 힘을 발휘합니다。
  • 고정밀도이다・높은 신뢰도
    형성성, 자기 이력성, 반복성의 영향에 최고로 맞는 직선으로부터 최대 편차는0.25%의 높은 정밀도와 높은 신뢰도가 있습니다。
  • 넓은 측정 범위
    게이지압 0~172.4KPa(1.76kgf/cm2)부터 20,684KPa(210.9kgf/cm2)까지、절대압 0~2,586torr까지 다양한 압력 범위의 제품을 준비했습니다。
  • 오랜 제품 수명
    각カク 범위에서 내구 테스트를 100만회 이상 실시하였습니다。
  • 출력
    4~20mA 또는 0~5V出力부터 선택 가능하고、각종 디지털 패널메터및 프로그램어블 컨트롤러와도 접속 가능합니다
형식 게이지압※절대압
PSI 25G 50G 100G 200G 500G 3000G 15A 25A 50A
압력 범위 KPa 0~172.4 0~344.7 0~689.5 0~1,378.9 0~3,447.3 0~20,684 0~103.4 0~172.4 0~344.7
kgf/cm2 0~1.76 0~3.52 0~7.03 0~14.06 0~35.16 0~210.9 - - -
torr --- - - - 0~776 0~1,293 0~2,586
정밀도(% Full Scale) ±0.5% ±0.25% ±0.5%

※게이압 타입은 옵션으로 출력 압력 기준을 진동(-100KPa)으로도 가능합니다。(주문할때 지정해 주십시오)

과부하압력Full Scale×2
보호온도범위-40℃ ~ 85℃ (미통전)
보관온도범위0℃ ~ 70℃
온도편차±0.05% FS/℃
외부리크량2×10-11Pa・m3/sec
연결 가스(액)부하스테로이®
피팅 1/4" Gasket seal、 Compression seal、그외
형식 604 605
여기(전원)전압DC 12~26V DC 12~26V
신호출력4~20mA 0~5V
스팬16mA±0.16mA 5V±0.5V
오프세트4mA±0.4mA 0V±0.1V

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