PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

초고압 순수 가스 소형 정제기 GP/GPF 시리즈

  • 사용 지점에서、불활성 가스등 특수 가스중에 포함된 수분・산소・하이드로 카본등의 불순수물을、조건에 따라 최대1PPB이하까지 제거합니다。
  • 내장 거친 취급용 필터 메디아는 전부 SUS316L을 표준으로 사용했습니다。부식에 따른 파티클의 발생과 화학반응을 일으키지 않습니다。
  • HBr、HCl등의 강부식성 특수 가스중에 포함된 수분을 、조건에 따라 최대100PPB(분석장치의 검출한계)이하까지 제거합니다。
  • 소형・경량 모델 GP-05는 필터 사이즈 동종의 작은 소형 타입( 면간84mm)으로、120g으로 경량입니다。
  • 가스 종류에 따라、350℃부터400℃의 베이킹에 따라 재활성 처리를 하면、완전 수명까지 반복적으로 사용할수 있습니다。
정제능력개별 불순물:최대1PPB이하 출구측 불순물 합계:최대10PPB이하 (조건에 따라)
재질하우징:SUS316L 전해연마 R max 0.7μm이하 필터모델:SUS316L 정제제:메탈・게터、그외
유량범위 0.5LPM~20LPM(모델/압력조건에 따라 차이가 있습니다.)
최고사용압력0.97MPa(140.65PSIG)
사용온도실온 또는350~400℃(용도에 따라 차이가 있습니다)
외부누량2×10-11Pa・m3/sec이하
피팅1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal

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형식A(mm)B(mm)C(mm)권장유량(邃錀/min) 수명(유량) ※
GP-05 84 38 250.1~0.5약1년간(0.2LPM 조건)
GP- 1 84 38 380.1~1.0 약1년간(0.5LPM 조건)
GP- 2 122 76 380.2~2.0 약1년간(1LPM 조건)
GP- 5 160 114 511~5 약1년간(3LPM 조건)
GP-10 224 178 512~10 약1년간(5LPM 조건)
GP-20 317 272 635~20 약1년간(10LPM 조건)

※상기 파과는 입구(일차측)부터의 불순수물 합계가10PPM이라고 가정했을때의 수치이며、그 중간에 재활성 처리가 필요합니다。

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사양 정제대상가스 정제불순물정제보정치
불활성가스 He, Ne, Ar, Kr, Xe H2O,O2,CO2 1 PPB이하 (실온에서)
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC 1 PPB이하 (가열시)
출구(2차)측 불순수물 합계 10 PPB이하 ( 8LOGS )
질소 가스용 N2 H2O,O2,CO2 1 PPB이하 (실온에서)
H2O,O2,CO,CO2,THC 1 PPB이하 (가열시)
수소 가스용 H2,Ar/H2,N2/H2 H2O,O2,CO2 1 PPB이하(실온에서)
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC 1 PPB이하 (가열시)
하이브리드 가스용
프레온 가스용
SiH4,Si2H6,SiH2Cl2,AsH3,PH3,NH3,B2H6,H2S
GeH4,Ge2H6,CH4,CF4,CCl4,SF6
H2O,O2,CO2 10 PPB이하(실온에서)
산소 가스용
(산소 가스 퓨리 필터는 싱글 타입、 듀얼 타입의 2종류가 있습니다。)
O2,Air 싱글 H2O 100 PPB이하(실온에서)
CO2 10 PPB이하(실온에서)
듀얼 H2O 100 PPB이하(가열시)
H2,CO,CO2 10 PPB이하(가열시)
부식성 가스용 HBr, HCl, BCl3,BF3,Cl2 H2O 100 PPB 이하(실온에서)

※부식성 가스의 순수분석에는 FT-IR을 사용합니다。(검출한계100PPB)
※상기의 보정치는、입구측 불순물 합게 10 PPM 이하의 경우

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