PURERON의 발상(기술)-그것이 흐르는 힘

가스필터용 자켓 필터 FBR 시리즈

가스 필터 베이킹용 자켓 히터 FBR 시리즈는、200℃의 고온에서 필터를 베이킹한 영구적인 베이킹 히터입니다.

  • FBR 시리즈는 필터로부터 간단하게 탈착가능합니다。
  • 200℃의 베이킹이 가능합니다。
  • 컨트롤러 유닛은 과열 방지 인터락 기능과 단선 검출기능이 있어 안전합니다。
  • 온도、시간등의 설정은 원격 조작이 가능한 디지털식 컨트롤러에 의해 조작이 간단합니다。
  • 히터 유닛은 얇고、경량으로 공간을 차지하지 않습니다。

일단 필터 내부의 금속 표면이나 요소에 대기중의 수분이 흡착되면 N2 퍼지만은 제거가 거의 힘듭니다。또한、가득찬 가스중에 H2O 또는 O2가 있다면、실온에서 수분과 반응하여 필터내와 프로세서 챔버 내의 반응 생성물에 의해 오염과 부식등이 생깁니다。수분・그외 탈가스 성분을 탈착시키는 것은 200℃이상의 베이킹이 제일 효과적입니다。Pureron은、필터를 200℃에서 베이킹한 영구적인 베이킹 시스템을 개발했습니다。 그로인해 APIMS측정 탈가스량(수분량)1.2ppb을 달성합니다。

최고사용온도 200℃
전원 AC100V
소비전력 60W~100W(0.6A~1A)
가열타이머
최대사용시간
100Hrs(디지털설정)
온도절약 PID제어(디지털설정)
시스템구성 히터 유닛과 컨트롤 유닛
부속품 전원코드、중유코드
옵션 멀티 체널・스캔식 컨트롤러、그외 다른 옵션 가능。

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형식 외경 A(mm) 내경 B(mm) 길이 C(mm)
FBR-2 60.0 43.0 80.0
FBR-3 60.0 43.0 50.0
FBR-5 50.0 30.0 50.0

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