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沿革
| 1985年 8月 | 東京都港区南青山にて設立 |
|---|---|
| 1985年10月 | 東京都大田区西糀谷に開発センター開設 |
| 1986年 1月 | 世界初の半導体製造ライン用セラミックガスフィルターＰＧＦシリーズを開発･販売 |
| 1986年 9月 | 半導体製造装置用高精度圧力センサー ＰＣ-３０２シリーズを開発･販売 |
| 1987年 6月 | 東京都八王子市に本社･工場移転 |
| 1987年 8月 | 業界初のガスラインベーキングシステムを開発･販売 |
| 1988年10月 | 世界初の半導体製造ライン用高耐蝕性ハステロイ®Ｃ-２２機器ＵＣＨシリーズを開発･販売 |
| 1989年 7月 | 第１４回井上春成賞グループ受賞 |
| 1991年 3月 | 半導体製造ライン用オールメタルフィルターＵＣＳシリーズを開発･販売 |
| 1994年 2月 | 超高純度ガス小型ピューリファイヤーＧＰシリーズを開発･販売 |
| 1994年 8月 | 高性能圧力トランスミッターＰＣ-３０４シリーズを開発･販売 |
| 1995年 7月 | 福島県いわき市好間中核工業団地に本社工場新設 東京都八王子市に東京支社開設 メタルエレメント（ＳＵＳ３１６L及びハステロイ®Ｃ-２２）の開発･販売 |
| 2001年 4月 | 東京支社をいわき市本社工場と統合 高耐ノイズ圧力センサーＰＣ-７００シリーズの開発･販売 |
| 2004年10月 | 業界初３００℃圧力センサーＰＣＨ-１０００シリーズの開発･販売 |
| 2005年10月 | ＰＴＦＥエレメントガスフィルターＴＦシリーズの開発･販売 |
| 2006年 2月 | 高精度微差圧計ＰＣＺ-３００シリーズの開発･販売 |
| 2006年 4月 | ISO １４００１：２００４認証取得（本社・いわき工場) |
| 2007年 4月 | クラス１のスーパークリーンルームを増設 高真空超音波特殊洗浄装置及びシステムを導入 |
| 2008年1月 | ISO ９００１：２０００認証取得（本社・いわき工場) |
| 2008年3月 | 東京都中央区に東京オフィス開設 |
| 2008年12月 | ISO ９００１：２０００認証取得（東京オフィス) |
| 2009年3月 | ISO １４００１：２００４認証取得（東京オフィス) |
| 2010年1月 | ISO ９００１：２００８認証取得（本社・いわき工場・東京オフィス) |
