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全金属气体过滤器 UCS系列 *UCS系列于2008年11月停产。
Pureron金属气体过滤器「UCS系列」构造紧凑、过滤精度高，且外部泄漏气体特性出色，是用于ULSI制造的高性能气体过滤器。
- 全部材质采用SUS316L不锈钢
- 外部无气体泄漏
- 高过滤精度0.01μm
- 高耐热性 460℃
- 具备从10ℓ/min的小流量到80ℓ/min的各种型号
- 全部经过烘烤、特殊洗浄处理
- 标准规格：烘烤、纯水特殊洗净、金属保护盖
| 过滤精度 | 0.01μm | |
|---|---|---|
| 推荐流量 | 10～80ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线) | |
| 设计压力 | 20.6MPa(2,987PSIG) at20℃ | 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。 |
| 常用压力 | 1MPa(145PSIG)未满 | |
| 最大容许差压 | 15MPa(2,175PSIG) at20℃ | |
| 最高使用温度 | 460℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 构成材料 | 外罩:SUS316L（电解研磨处理）元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 | |
| 连接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、其它 | |
| 型号 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| UCS-CB-02VR | 15.5 | 25.0 | Hex.17 | 1/4 | φ27 | 65.0 |
| UCS-CB-02SW | 10.0 | 25.0 | Hex.17 | 1/4 | φ27 | 54.0 |
| UCS-SB-02VR | 19.5 | 53.0 | Hex.27 | 3/8 | φ30 | 84.0 |
| UCS-SB-02SW | 12.0 | 53.0 | Hex.27 | 3/8 | φ30 | 73.0 |
| UCS-MB-02VR | 15.5 | 96.0 | Hex.27 | 1/4 | φ30 | 127.0 |
| UCS-MB-02SW | 10.0 | 96.0 | Hex.27 | 1/4 | φ30 | 116.0 |
