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全金属气体过滤器 UCS系列 *UCS系列于2008年11月停产。

Pureron金属气体过滤器「UCS系列」构造紧凑、过滤精度高,且外部泄漏气体特性出色,是用于ULSI制造的高性能气体过滤器。

  • 全部材质采用SUS316L不锈钢
  • 外部无气体泄漏
  • 高过滤精度0.01μm
  • 高耐热性 460℃
  • 具备从10ℓ/min的小流量到80ℓ/min的各种型号
  • 全部经过烘烤、特殊洗浄处理
  • 标准规格:烘烤、纯水特殊洗净、金属保护盖
过滤精度 0.01μm
推荐流量10~80ℓ/min(各型号区别:参考流量特性曲线)
设计压力20.6MPa(2,987PSIG) at20℃ 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是,依据日本国内的高压气体保安法,最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品,请询问我们。
常用压力1MPa(145PSIG)未满
最大容许差压15MPa(2,175PSIG) at20℃
最高使用温度460℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
构成材料外罩:SUS316L(电解研磨处理)元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
连接零件1/4"、3/8"、1/2" VCR®、Swagelok®、其它

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型号A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCS-CB-02VR15.5 25.0 Hex.171/4 φ27 65.0
UCS-CB-02SW10.025.0Hex.171/4φ27 54.0
UCS-SB-02VR 19.5 53.0 Hex.27 3/8 φ30 84.0
UCS-SB-02SW 12.0 53.0 Hex.273/8 φ30 73.0
UCS-MB-02VR15.5 96.0 Hex.271/4φ30 127.0
UCS-MB-02SW 10.0 96.0 Hex.271/4φ30 116.0

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