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低压力损失内置式陶瓷气体过滤器 UCF系列

  • 低压力损失
    氮气以10ℓ/min速度通过过滤器,输入侧压力0.1MPa,输出侧压力损失⊿P仅仅为极低的0.01MPa。
  • 高过滤精度
    0.01μm微粒子去除性能达到99.9999999999%。为超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
过滤精度 0.01μm
推荐流量 10~160ℓ/min(各型号区别:参考流量特性曲线)
设计压力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是,依据日本国内的高压气体保安法,最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品,请询问我们。
常用压力1MPa(145PSIG)未满
最大容许差压 3MPa (435PSIG) at20℃
最高连续使用温度120℃
烘烤温度200℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
构成材料外罩:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax×0.7μm以下 元素:氧化铝陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
连接零件 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它

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型号A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
UCF-CB-02VR・P15.5 40.0 Hex.301/4 φ32.5 71.0
UCF-CB-02SW・P 10.0 40.0Hex.301/4φ32.5 60.0
UCF-SB-02VR・P15.5 53.0Hex.301/4φ32.5 84.0
UCF-SB-02SW・P10.0 53.0Hex.301/4φ32.5 73.0
UCF-LB-02VR・P15.5 96.0Hex.301/4φ32.5 127.0
UCF-LB-02SW・P10.0 96.0Hex.301/4φ32.5 116.0
UCF-SC-02VR・P15.553.0Hex.301/4φ32.584.0
UCF-SC-02SW・P10.0 53.0Hex.301/4φ32.573.0
UCF-LC-02VR・P15.596.0Hex.301/4φ32.5127.0
UCF-LC-02SW・P10.0 96.0Hex.301/4φ32.5116.0

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