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低压力损失金属气体过滤器 UCD系列

  • 过滤器材料全部采用SUS316L,不用担心腐蚀和中间产物,同时具备较高的耐热性能。
  • 使用氮气(N2)输入,当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时,输出侧压力损失△为0.05MPa。
  • 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm,实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
过滤精度0.003μm
推荐流量 10~100ℓ/min(各型号区别:参考流量特性曲线)
最高使用压力0.98MPa(142PSIG) at20℃
最大容许差压0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
最高使用温度460℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
构成材料外罩:SUS316L(电解研磨处理)元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
连接零件1/4"Gasket seal、其它

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