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微少流量超小型陶瓷气体过滤器 SPC系列

  • 超小型、轻量
    SPC系列是超小型(Φ21×84mm)、轻量(90g)设计。最适合于安装在空间狭小的气瓶柜等装置的场合。
  • 高过滤精度
    滤芯采用多层构造的陶瓷、过滤精度非常出色。全部过滤器在交付时,经CNC粒子计数统计,确认0.003μm的粒子为零后才出货。
  • 低排气性能
    陶瓷过滤器和全金属过滤器相比,水分吸收量少,具有出色的排气性能。
  • 无死角
    过滤器构造充分考虑抑制过滤器内部的气体滞留部分,具备出色的气体置换性。
过滤精度 0.003μm
推荐流量 10ℓ/min
设计压力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是,依据日本国内的高压气体保安法,最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品,请询问我们。
常用压力1MPa(145PSIG)未满
最大容许差压 3MPa (435PSIG) at20℃
最高连续使用温度120℃
烘烤温度200℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
构成材料外罩:SUS316L(电解研磨处理) 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化铝陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
连接零件1/4"Gasket seal、 Compression seal、其它

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