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预处理用全金属气体过滤器 RGF系列

  • 过滤精度范围宽
    可以对应固定或脉冲方式下的0.1~10μm过滤精度。
  • 高耐腐蚀性
    过滤器没有采用腐蚀性材料,不用担心被腐蚀或者生成中间产物。
  • 排气特性
    和专用的烘烤加热器并用,APIMS方式测定的排气(水分量)能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除,排气性能更加出色。
过滤精度0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 各种
推荐流量尺寸大小 E 尺寸…40ℓ/min、T 尺寸…60ℓ/min
设计压力17MPa (2,465PSIG) at20℃ 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是,依据日本国内的高压气体保安法,最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品,请询问我们。
常用压力1MPa(145PSIG)未满
最大容许差压2MPa(290PSIG) at20℃
最高使用温度400℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下
构成材料外罩:SUS316L(电解研磨处理) 元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
连接零件1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它

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型号A(mm)B(mm) D(mm) E(inch) F(mm) H(mm)
RGF-EB-02VR15.5 34.0 Hex.30 1/4 φ32.5 65.0
RGF-EB-02SW10.0 35.0 Hex.30 1/4φ32.5 55.0
RGF-TB-02VR 19.5 53.0 Hex.30 1/4 φ32.5 84.0
RGF-TB-02SW 12.0 53.0 Hex.30 1/4 φ32.5 730

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