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内置式陶瓷气体过滤器 PGF系列
- 高过滤精度
在超微LSI制造工艺中，要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说，管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器，从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。 - 蚀刻和薄膜形成时必不可缺的高选择性
在追求高选择性的过程中，极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物，首先必不可缺的，是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。 - 零维护实现成本削减
能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构，因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比，具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失，并可长期持续地削减成本。
| 过滤精度 | 0.003μm（但是，纯水过滤时は0.1μm） | |
|---|---|---|
| 推荐流量 | 10～200ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线) | |
| 设计压力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，最高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。 |
| 常用压力 | 1MPa(145PSIG)未满 | |
| 最大容许差压 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
| 最高连续使用温度 | 120℃ | |
| 烘烤温度 | 200℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 构成材料 | 外罩：SUS316L 内表面粗糙度：Rmax0.7μm以下 元素：氧化铝陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE | |
| 连接零件 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" VCR®、Swagelok®、UPG®、其它 | |
| 型号 | A(mm) | B(mm) | D(mm) | E(inch) | F(mm) | H(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| PGF-2-02VR・PC07 | 15.5 | 84.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 130.0 |
| PGF-2-02SW・PC07 | 10.0 | 84.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 119.0 |
| PGF-2-03VR・PC07 | 19.5 | 92.0 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 146.0 |
| PGF-2-03SW・PC07 | 12.0 | 92.0 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 131.0 |
| PGF-3-02VR・PC07 | 15.5 | 46.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 84.0 |
| PGF-3-02SW・PC07 | 10.0 | 46.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 73.0 |
| PGF-3-03VR・PC07 | 19.0 | 48.4 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 112.0 |
| PGF-4-02VR・PC07 | 15.5 | 229.0 | Hex.24 | 1/4 | φ42.4 | 274.0 |
| PGF-4-03VR・PC07 | 19.0 | 229.0 | Hex.24 | 3/8 | φ42.4 | 284.0 |
| PGF-5-02VR・PC07 | 15.5 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 84.0 |
| PGF-5-02SW・PC07 | 10.0 | 53.0 | Hex.30 | 1/4 | φ32.5 | 73.0 |
- 过滤器烘烤：200℃ 2Hr
- 金属保护盖
- 500～3,000ℓ/min超大流量场合，可以选择PGF-11系列
