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哈司特镍合金®压力传送器 PC-600系列

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应,形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此,我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-600系列。

  • 高耐腐蚀性
    对应HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体,气体接触部分采用远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金®,并进行了电解研磨处理,充分发挥了其出色的耐腐蚀性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直线性、滞后性、重复精度的影响造成和最优拟合线的最大偏差为±0.25%,具备高精度和高可靠性。
  • 测定范围宽
    表压的压力范围从0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),绝对压的压力范围为0~2,586torr。
  • 使用寿命长
    各测量范围都通过了100万次的循环耐久测试。
  • 输出
    输出可以选择4~20mA或0~5V,可以连接各种数字式面板仪表和可编程逻辑控制器。
型号 表压※绝对压
PSI 25G 50G 100G 200G 500G 3000G 15A 25A 50A
压力范围 KPa 0~172.4 0~344.7 0~689.5 0~1,378.9 0~3,447.3 0~20,684 0~103.4 0~172.4 0~344.7
kgf/cm2 0~1.76 0~3.52 0~7.03 0~14.06 0~35.16 0~210.9 - - -
torr --- - - - 0~776 0~1,293 0~2,586
精度(% 全量程) ±0.5% ±0.25% ±0.5%

※可选项:表压类型的输出基准可以为真空(-100KPa)。(订购时需要指定)

过载压力全量程×2
保存温度范围-40℃ ~ 85℃ (未通电)
温度补偿范围0℃ ~ 70℃
温度漂移±0.05% FS/℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec
气体(液体)接触部分哈司特镍合金®
连接零件 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它
型号 604 605
激励电源电压DC 12~26V DC 12~26V
信号输出4~20mA 0~5V
跨度16mA±0.16mA 5V±0.5V
偏移量4mA±0.4mA 0V±0.1V

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