Japanese 
English 
Chinese
Korean 
超高纯度小型气体净化器 GP/GPF系列
- 不同条件下，可去除可惰性气体和特殊气体中最大1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
- 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L，不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
- HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分，最大100PPB（分析装置的检测界限）以下可以去除。
- 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小（长度84mm），仅重120g。
- 根据不同气体类型，350℃－400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
| 净化能力 | 杂质：最大1PPB以下 出口侧杂质合计：最大10PPB以下 （和条件相关） |
|---|---|
| 材质 | 外罩：SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 滤材：SUS316L 净化剂：金属･吸气剂、其它 |
| 流量范围 | 0.5LPM～20LPM（随类型/压力条件变化） |
| 最高使用压力 | 0.97MPa（140.65PSIG） |
| 使用温度 | 室温或者350～400℃（随用途变化） |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec 以下 |
| 连接零件 | 1/4"、3/8" VCR®、Swagelok® |
| 型号 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | 推荐流量（ℓ/min） | 寿命（流量）※ |
|---|---|---|---|---|---|
| GP-05 | 84 | 38 | 25 | 0.1～0.5 | 约1年间（0.2LPM的条件） |
| GP- 1 | 84 | 38 | 38 | 0.1～1.0 | 约1年间（0.5LPM的条件） |
| GP- 2 | 122 | 76 | 38 | 0.2～2.0 | 约1年间（1LPM的条件） |
| GP- 5 | 160 | 114 | 51 | 1～5 | 约1年间（3LPM的条件） |
| GP-10 | 224 | 178 | 51 | 2～10 | 约1年间（5LPM的条件） |
| GP-20 | 317 | 272 | 63 | 5～20 | 约1年间（10LPM的条件） |
※上述入口（一侧）如果杂质合计10PPM以上，需要滤材再激活处理。
| 规格 | 净化气体 | 净化杂质 | 净化保证值 | |
|---|---|---|---|---|
| 惰性气体 | He, Ne, Ar, Kr, Xe | H2O，O2，CO2 | 1 PPB以下 （室温） | |
| H2O，O2，CO，CO2，N2，THC | 1 PPB以下 (加热时) | |||
| 出口(二次)侧杂质合计 | 10 PPB以下 ( 8LOGS ) | |||
| 氮气用 | N2 | H2O，O2，CO2 | 1 PPB以下 （室温） | |
| H2O，O2，CO，CO2，THC | 1 PPB以下 (加热时) | |||
| 含氢气气体用 | H2，Ar/H2，N2/H2 | H2O，O2，CO2 | 1 PPB以下（室温） | |
| H2O，O2，CO，CO2，N2，THC | 1 PPB以下 (加热时) | |||
| 氢化物气体用 含氟利昂气体 |
SiH4，Si2H6，SiH2Cl2，AsH3，PH3，NH3，B2H6，H2S H2Se，GeH4，Ge2H6，CH4，CF4，CCl4，SF6 |
H2O，O2，CO2 | 10 PPB以下(室温) | |
| 含氧气体用 （含氧气体净化器分为单一、双重2种） |
O2，Air | 单一的 | H2O | 100 PPB以下(室温) |
| CO2 | 10 PPB以下(室温) | |||
| 双重的 | H2O | 100 PPB以下(加热时) | ||
| H2，CO，CO2 | 10 PPB以下(加热时) | |||
| 腐蚀性气体用 | HBr, HCl, BCl3，BF3，Cl2 | H2O | 100 PPB 以下（室温) | |
※腐蚀性气体的纯度的分析是使用FT－IR。（检测界限100PPB）
※上述保证值适合入口侧杂质合计10PPM以下的场合
