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超高纯度小型气体净化器 GP/GPF系列

  • 不同条件下,可去除可惰性气体和特殊气体中最大1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
  • 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L,不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
  • HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分,最大100PPB(分析装置的检测界限)以下可以去除。
  • 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小(长度84mm),仅重120g。
  • 根据不同气体类型,350℃-400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
净化能力杂质:最大1PPB以下 出口侧杂质合计:最大10PPB以下 (和条件相关)
材质外罩:SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 滤材:SUS316L 净化剂:金属・吸气剂、其它
流量范围 0.5LPM~20LPM(随类型/压力条件变化)
最高使用压力0.97MPa(140.65PSIG)
使用温度室温或者350~400℃(随用途变化)
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec 以下
连接零件1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal

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型号A(mm)B(mm)C(mm)推荐流量(ℓ/min) 寿命(流量)※
GP-05 84 38 250.1~0.5约1年间(0.2LPM的条件)
GP- 1 84 38 380.1~1.0 约1年间(0.5LPM的条件)
GP- 2 122 76 380.2~2.0 约1年间(1LPM的条件)
GP- 5 160 114 511~5 约1年间(3LPM的条件)
GP-10 224 178 512~10 约1年间(5LPM的条件)
GP-20 317 272 635~20 约1年间(10LPM的条件)

※上述入口(一侧)如果杂质合计10PPM以上,需要滤材再激活处理。

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规格 净化气体 净化杂质净化保证值
惰性气体 He, Ne, Ar, Kr, Xe H2O,O2,CO2 1 PPB以下 (室温)
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC 1 PPB以下 (加热时)
出口(二次)侧杂质合计 10 PPB以下 ( 8LOGS )
氮气用 N2 H2O,O2,CO2 1 PPB以下 (室温)
H2O,O2,CO,CO2,THC 1 PPB以下 (加热时)
含氢气气体用 H2,Ar/H2,N2/H2 H2O,O2,CO2 1 PPB以下(室温)
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC 1 PPB以下 (加热时)
氢化物气体
含氟利昂气体
SiH4,Si2H6,SiH2Cl2,AsH3,PH3,NH3,B2H6,H2S
H2Se,GeH4,Ge2H6,CH4,CF4,CCl4,SF6
H2O,O2,CO2 10 PPB以下(室温)
含氧气体用
(含氧气体净化器分为单一、双重2种)
O2,Air 单一的 H2O 100 PPB以下(室温)
CO2 10 PPB以下(室温)
双重的 H2O 100 PPB以下(加热时)
H2,CO,CO2 10 PPB以下(加热时)
腐蚀性气体用 HBr, HCl, BCl3,BF3,Cl2 H2O 100 PPB 以下(室温)

※腐蚀性气体的纯度的分析是使用FT-IR。(检测界限100PPB)
※上述保证值适合入口侧杂质合计10PPM以下的场合

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