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集成式气体系统对应气体过滤器 FI/SI系列

  • 高过滤精度
    高过滤精度的陶瓷单元类型（0.003μm）和金属单元类型（0.003μm）满足不同需要。
  • 具备多种型号
    C SEAL/H1G SEAL/W SEAL 均有对应型号。（C SEAL/W SEAL 也对应1.125英尺类型）
  • 宽流量范围
    从几个LPM小流量到120LPM的大流量的各种型号一应俱全。
SEAL 规格推荐流量 单元材质 过滤精度 1.5"对应型号 1.125"对应型号
C SEAL10SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIE-MB10C SIE-MB10C
40SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIE-SB19C SIE-SB19C
80SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIE-LB19C SIE-LB19C
10SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIE-CB13M SIE-CB13M
40SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIE-SB13M SIE-SB13M
80SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIE-LB13M SIE-LB13M
120SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIE-TB19M SIE-TB19M
H1G SEAL10SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIH-MB10C -
40SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIH-SB19C -
80SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIH-LB19C -
10SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIH-CB13M -
40SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIH-SB13M -
80SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIH-LB13M -
120SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIH-TB19M -
W SEAL10SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIF-MB10C SIF-MB10C
40SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIF-SB19C SIF-SB19C
80SLPM以下 氧化铝陶瓷 0.003μm FIF-LB19C SIF-LB19C
10SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIF-CB13M SIF-CB13M
40SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIF-SB13M SIF-SB13M
80SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIF-LB13M SIF-LB13M
120SLPM以下 SUS316L 0.003μm FIF-TB19M SIF-TB19M

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